chroma 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)

chroma 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng) 

主要特色：可同時(shí)檢測晶圓正反兩面大可檢測 8 吋晶圓 (檢測區(qū)域達(dá)10 吋范圍 )可因應(yīng)不同產(chǎn)業(yè)的晶粒更換或新增檢測項(xiàng)目上片后晶圓自動(dòng)對位機(jī)制自動(dòng)尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓瑕疵規(guī)格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規(guī)格瑕疵檢出率高達(dá) 98%可結(jié)合上游測試機(jī)晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設(shè)備提供檢測報(bào)表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進(jìn)行分析

Chroma 7936晶圓雙面檢測機(jī)為自動(dòng)化的切割后 晶粒檢測機(jī)，可以同時(shí)間進(jìn)行正反兩面的晶粒外 觀檢查。使用良好的打光技術(shù)，可以清楚的辨識(shí) 晶粒的外觀瑕疵。結(jié)合不同的光源角度、亮度及 取像模式，使得7936可以適用于新的制程如垂 直結(jié)構(gòu)晶粒或是覆晶晶粒。由于使用的高速相機(jī)以及自行開發(fā)之檢測演算 法，7936可以在4.5分鐘內(nèi)檢測完2 吋 LED晶圓， 換算為單顆處理時(shí)間為35msec。7936同時(shí)也提 供了自動(dòng)對焦與翹曲補(bǔ)償功能，以克服晶圓薄 膜的翹曲與載盤的水平問題。7936可配置2種不 同倍率，使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測 倍率。系統(tǒng)搭配的小解析度為0.7um，一般來 說，可以檢測2um左右的瑕疵尺寸。系統(tǒng)功能 在擴(kuò)膜之后，晶粒或晶圓可能會(huì)產(chǎn)生不規(guī)則的 排列，7936也提供了搜尋及排列功能以轉(zhuǎn)正晶 圓。此外，7936擁有人性化的使用介面可降低 學(xué)習(xí)曲線，所有的必要資訊，如晶圓分布、瑕疵 區(qū)域、檢測參數(shù)及結(jié)果等，均可清楚地透過軟體 介面呈現(xiàn)。瑕疵資料分析 所有的檢測結(jié)果均會(huì)被記錄下來，而不僅僅是 良品/不良品的結(jié)果。這有助于找出一組佳參 數(shù)，達(dá)到漏判與誤判的平衡點(diǎn)。瑕疵原始資料亦 有幫助于分析瑕疵產(chǎn)生之趨勢，并回饋給制程人 員進(jìn)行改善。綜合上述說明，Chroma 7936是晶圓檢測制程考 量成本與效能的佳選擇。

7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)

深圳市美佳特科技有限公司（簡稱“美佳特"）成立于2010年，致力于光通訊測試、通用電子測量及5G測試服務(wù)。美佳特以“無線溝通，溝通無極限 "企業(yè)使命，業(yè)務(wù)聚焦于精密測試測量儀器的租賃、銷售、維護(hù)、計(jì)量及測試環(huán)境搭建等一站式服務(wù)。chroma 7936 雙面晶圓檢測系統(tǒng)?

主營產(chǎn)品：示波器主機(jī)和模塊、眼圖儀、光譜儀、信號源、頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、阻抗分析儀、光通信儀器、誤碼儀、光時(shí)域反射儀、可調(diào)諧激光源、光功率計(jì)、光衰減器等。合作品牌：安捷倫、是德、泰克、安立、愛得萬、安騰、力科、馬可尼（IFR）、R&S、EXFO等。

主推：Agilent 86100D/C 示波器,keysight M8195A 任意波形發(fā)生器,Anritsu MS9740B/A 光譜分析儀,YOKOGAWA AQ6370D/E 光譜分析儀,keysight N1092A/C 采樣示波器,keysight E8257D 模擬信號發(fā)生器,keysight E5071C 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀