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詳細介紹
| 品牌 | Keithley/美國吉時利 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
Keithley 4210-SMU 是 吉時利（Keithley） 推出的一款 半導體測試的精密源測量連接器（Source Measure Unit, SMU），專為 半導體器件測試、材料特性分析、納米技術研究 等應用設計。作為 4200-SCS 半導體特性分析系統 的關鍵組件，4210-SMU 能夠 同時提供精確的電壓/電流激勵并測量微弱的響應信號，適用于 晶體管、二極管、存儲器、MEMS 等器件的電學性能測試。
可同時作為電壓源、電流源、電壓表、電流表，支持 源（Source）與測量（Measure）同步操作。
四象限輸出：
第1象限：正電壓 + 正電流（如正向偏置測試）
第2象限：正電壓 + 負電流（如太陽能電池測試）
第3象限：負電壓 + 負電流（如反向偏置測試）
第4象限：負電壓 + 正電流（如特殊器件特性分析）
電壓范圍：±200V（最高可達±210V）
電流范圍：±100mA（可測10f電流）
分辨率：
電壓：1μV
電流：10fA
精度：
電壓：±0.015% of reading
電流：±0.03% of reading
支持 脈沖式輸出（最短脈沖寬度100μs），避免器件因長時間通電發熱而影響測試結果。
高速采樣：最高可達10k samples/s（14-bit ADC），適合 瞬態特性分析。
采用 低噪聲電路架構，特別適合 納米器件、低維材料（如石墨烯）、光電探測器 等微弱信號測量。
Guard端子：減少漏電流干擾，確保高阻測量準確性。
兼容4200-SCS系統：可與其他SMU模塊（如4200-PA前置放大器）協同工作。
支持SCPI命令：通過GPIB、LAN、USB接口遠程控制。
軟件支持：
Keithley Interactive Test Tool (KITT)：圖形化測試界面。
LabVIEW驅動：便于自動化測試系統開發。
晶體管特性分析：Id-Vd、Id-Vg曲線測量（MOSFET、HEMT等）。
二極管參數測試：擊穿電壓（BV）、反向漏電流（Ir）。
存儲器測試：RRAM、PCRAM的阻變特性。
低維材料電學性能：石墨烯、碳納米管的載流子遷移率。
光電探測器：響應度、暗電流測量。
TDDB（時間依賴介電擊穿）：監測介質層失效過程。
HCI（熱載流子注入）：評估器件壽命。
壓電器件、熱電偶的IV特性分析。
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 電壓范圍 | ±200V（可擴展至±210V） |
| 電流范圍 | ±100mA（10fA） |
| 輸出功率 | 20W（連續模式） |
| 分辨率 | 電壓：1μV，電流：10fA |
| 精度 | 電壓：±0.015%讀數，電流：±0.03%讀數 |
| 采樣率 | 最高10k samples/s |
| 接口 | GPIB、LAN、USB |
| 兼容系統 | 4200-SCS半導體特性分析系統 |
| 型號 | 4210-SMU | 2450-SMU | 2636B |
|---|---|---|---|
| 電壓范圍 | ±200V | ±200V | ±200V |
| 電流范圍 | ±100mA | ±1A | ±10A（脈沖） |
| 分辨率 | 10fA | 1pA | 10fA |
| 應用重點 | 半導體器件精密測試 | 通用材料測試 | 高電流功率器件測試 |
Keithley 4210-SMU 是一款 面向科研與半導體測試的精密源測量連接器，其 高精度、低噪聲、四象限操作 特性使其成為 納米器件、新型半導體材料研究 的理想工具。通過與4200-SCS系統配合，用戶可以實現 從DC到脈沖測試的全套電學表征方案。
如需更詳細的技術資料或應用案例，建議訪問 Keysight Technologies（是德科技） 或聯系當地技術支持。
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